产品介绍：

名    称：高精密匀胶机

型    号：EZ4

原产地：美国，USA

应    用：在高速旋转的基片上，滴注各类胶液，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上，厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同，也和旋转速度及时间有关。

产品概述：

EZ4高精密匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至4英寸圆晶尺寸底物，使用工业级直流马达和单片机控制，文本显示器人机界面。
　　EZ4高精密匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱内操作。EZ4采用全阳极氧化铝面板外壳，PP材料内腔，经久耐用。

EZ4高精密匀胶机性能参数：

l   支持wafer尺寸：碎片（小于1cm）至100mm（4"圆晶）

l   速度可调范围：100-10000rpm

l   加速度可调范围：100-10000rpm/s

l   转速分辨率：1rpm

l   转速：＜±5rpm

l   可编程5组5步程序

l   宽电压输入：AC100-230V

产品特点：

l   75W 直流无刷电机，单片机控制

l   高清晰文本显示器

l   可单步和多步匀胶操作

l   PP耐腐蚀内腔，可更换

l   铝合金阳极氧化外壳，美观大方

l   耐溶剂PC透明盖

l   多角度定位铰链设计

l   HDPE真空吸盘

产品外型尺寸：
　   250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)